影像测量仪外表擦拭步骤：
1. 先用干细棉布或擦拭纸擦拭仪器外表，以擦拭其灰尘或油污等，小心注意其仪器外表勿受伤。
2. 再用干净细干棉布沾上工业用酒精，擦拭仪器外表，尤其金属及非金属表面
影像测量仪镜面擦拭步骤：
1. 先用拭镜纸轻轻擦拭镜面表面，勿用力以免伤及镜面。
2. 再用棉花棒沾工业用酒精，轻轻擦拭镜面表面，并需等酒精挥发后，再装回去。
花岗岩表面擦拭步骤： 
1. 先用干细棉布或擦拭纸擦拭花岗岩表面，以擦拭其灰尘或测量后机件遗留的油污等。
2. 再用干净细干棉布沾上工业用酒精，擦拭花岗岩外表面，酒精具挥发性会自然蒸发。
3. 必要时，可使用花岗岩专用保养油再擦拭。
影像测量仪传动部分：
分干磨擦部分及润滑部分，干磨擦部分又有气浮轴承及无牙丝杆传动机构之区分。
干磨擦部分保养步骤：
1. 先用干细棉布或擦拭纸擦拭磨擦表面，以擦拭其灰尘或油污等。
2. 也可使用吹气壶，将灰尘吹掉。
3. 必要时，可再用干净细干棉布沾上工业用酒精或高级润滑油，擦拭磨擦表面。